奥林巴斯MX61A全自动半导体检查显微镜
MX61A是一款专门设计的半导体显微镜，可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作，有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测，保证了工作的效率和产品一体化。
为用户提供Zui高的效率
满足客户需求是奥林巴斯的第一要务。
正是牢记这一点，奥林巴斯所提供的显微镜解决方案让工业检查变得更轻松、更便捷、更高效。同时，当将显微镜成功集成应用到生产线上，操作舒适性等人体工程学问题与晶圆安全问题就显得尤为重要，我们注重解决此类问题。奥林巴斯始终为半导体晶圆、平板显示器和电子设备等在内的多个行业，提供新构思、解决方案和技术支持。
MX61A
适合检查300mm样品的电动控制式显微镜。搭载了奥林巴斯Stream软件，可电动控制观察模式、照明强度、物镜、孔径光阑和载物台移动（可选）。主动式激光自对焦功能提高了检查精度和速度。
MX61A——自动化解决方案
满足对自动化的需求
自动化控制阵容
MX61A提供了以下自动化控制功能：
- 观察模式
- Z轴对焦
- 物镜倍率
- 孔径光阑
- 照明强度
- 硬件自动对焦（选配）
- DIC 棱镜调节（选配）
- 扫描台控制（选配）
奥林巴斯的Stream软件不仅能够控制显微镜的基本操作，如活动图像预览和图像抓取等，通过屏幕上软件的调节还可以控制诸如自动对焦及进行DIC棱镜调节等更为复杂的操作。
主动式激光自动对焦
奥林巴斯全自动半导体检查显微镜MX61A配备了主动式激光自动对焦装置，能够提高检查精度和速度。多点传感器可消除试样表面垂直不平整度带来的影响，显著提高稳定性，为您提供更快速、更具可再现性的结果。
易于使用的自动对焦控制功能
先进的软件集成
奥林巴斯Stream软件与200mm或300mm的电动扫描台一起使用时，操作员能够很轻松地拼接单个视场外的多个图像，进一步扩展了图像采集和分析的可能性。
电动扫描台的直觉式控制
用于触摸控制的手持控制器
奥林巴斯全自动半导体检查显微镜MX61A通过这款符合人体工程学原理的手持控制器，操作员可使用按钮控制显微镜的多项电动功能，例如选择物镜和观察方法等。此外，操作员还可在“跟踪”和“单次对焦”之间切换自动对焦装置的工作模式，进行手动微调焦、微分干涉棱镜的延迟位置调节、控制光照强度、降低载物台以更换样品等。
通过手持控制器，使用按钮操作显微镜
观察影像实例
明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察
荧光观察 近红外线观察（左）和可见光线观察（右）的比较
提供扩展性的解决方案
提供扩展性的解决方案
适应分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模块
"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求。
实现对人和环境都没有危害的自动化
符合SEMI S2/S8标准
符合SEMI（SemiconductorEquipment and Materials International）S2-0706（有关安全的基准），S8-0705（有关人体工程学的基准）和CE标识（欧洲强制性认证）等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等，高水准的确保了可靠性。
可选的倾斜观察筒
倾斜观察筒示意图
备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。
洁净对应的电动物镜转换器
洁净对应的电动物镜转换器
备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。
6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器，采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换。
高抗振本体
高倍率观察图像示意图
采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。
帮助实现多种观察的附件
晶圆搬送机组合
晶圆搬送机
可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。
自动载物台组合
自动载物台
备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制，可以实现高级检查、不良分析功能。
